近日，中芯集成電路（寧波）有限公司（簡(jiǎn)稱：中芯寧波）自主研發(fā)的體聲波（BAW）諧振器工藝技術(shù)平臺(tái)：SASFR?，已經(jīng)支持多家設(shè)計(jì)公司實(shí)現(xiàn)射頻前端中高頻BAW濾波器量產(chǎn)，客戶產(chǎn)品性能已達(dá)到國(guó)內(nèi)最優(yōu)、業(yè)界先進(jìn)水平，可開始向高端手機(jī)供貨，在中國(guó)大陸?yīng)殬湟粠?，也在長(zhǎng)期被國(guó)外廠商壟斷的中高端BAW濾波器領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)了具有全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)和規(guī)模制造突圍。

SASFR?（Suspended Acoustic Separated Film Resonator，懸浮聲學(xué)隔離薄膜諧振器）是中芯寧波全自主開發(fā)并擁有全套自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術(shù)，包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺(tái)以及后道晶圓級(jí)芯片封裝與測(cè)試配套技術(shù)。與業(yè)界沿用多年的傳統(tǒng)技術(shù)路線大相徑庭，SASFR? 平臺(tái)在薄膜工藝構(gòu)架和諧振器件設(shè)計(jì)上，實(shí)現(xiàn)了真正意義上的自主創(chuàng)新突破，且其諧振器關(guān)鍵性能指標(biāo)可與國(guó)際競(jìng)品比肩，個(gè)別性能甚至高于國(guó)際水平。

這一自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的BAW濾波器晶圓工藝平臺(tái)，其核心MEMS諧振器能夠?qū)崿F(xiàn)射頻信號(hào)的高性能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能。基于這一平臺(tái)設(shè)計(jì)的0.8至6.0GHz射頻濾波器產(chǎn)品，具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用范圍廣泛，所支持產(chǎn)品設(shè)計(jì)和開發(fā)靈活性強(qiáng)，基本覆蓋了5G通信所有領(lǐng)域，如手機(jī)、無線通信基站、智能電表，以及智能家電信息交互等應(yīng)用場(chǎng)景。

SASFR?工藝技術(shù)和規(guī)模制造平臺(tái)是中芯寧波的核心產(chǎn)品線之一。2019年啟動(dòng)射頻產(chǎn)品線研發(fā)后，中芯寧波只用不到兩年的時(shí)間，就通過了多家客戶的產(chǎn)品認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

據(jù)新聲公司負(fù)責(zé)人表示，選擇中芯寧波作為戰(zhàn)略合作伙伴的最重要原因是，SASFR?工藝平臺(tái)是中芯寧波CEO黃河博士親自率領(lǐng)團(tuán)隊(duì)從零開始全自主開發(fā)，知識(shí)產(chǎn)權(quán)完全自主可控。啟動(dòng)客戶推廣與產(chǎn)品合作以來，新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時(shí)間走過了國(guó)外IDM十年的發(fā)展道路。

據(jù)了解，此前中芯寧波相關(guān)業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人曾表示，公司CEO黃河博士是SASFR?的核心發(fā)明人。中芯寧波研發(fā)和晶圓廠運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)在黃河博士的領(lǐng)導(dǎo)下從零起步，排除各種質(zhì)疑，戰(zhàn)勝無數(shù)艱難險(xiǎn)阻，純粹憑借團(tuán)隊(duì)自身的力量，堅(jiān)定地走全自主工藝技術(shù)開發(fā)道路，短時(shí)間內(nèi)完成了全套BAW濾波器晶圓制造工藝、晶圓級(jí)封裝和測(cè)試的開發(fā)、設(shè)置和驗(yàn)證并進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化，創(chuàng)造了奇跡。

業(yè)內(nèi)專家評(píng)價(jià)說，中芯寧波SASFR?制造平臺(tái)的成功充分說明，憑借自主創(chuàng)新的堅(jiān)定決心、團(tuán)結(jié)實(shí)干的優(yōu)秀隊(duì)伍和互信共贏的市場(chǎng)合作，完全有可能在一些國(guó)外壟斷的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)安全的產(chǎn)業(yè)化突破。

隨著5G商用的啟動(dòng)，國(guó)內(nèi)濾波器出貨量呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。業(yè)內(nèi)分析機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2022年全球?yàn)V波器市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到160億美元，其中BAW濾波器占比約47%，市場(chǎng)規(guī)模約75億美元。目前，國(guó)內(nèi)中高頻BAW濾波器市場(chǎng)仍然主要被Broadcom和Qorvo等國(guó)外廠商所壟斷。?

關(guān)于中芯寧波

中芯集成電路（寧波）有限公司由中芯國(guó)際、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（大基金）和地方產(chǎn)投基金等聯(lián)合投資，2016年底落戶寧波北侖區(qū)，是寧波市集成電路產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)。公司于2020年12月完成B輪融資后，三家社會(huì)資本為并列第一大股東，中芯國(guó)際為第四大股東，大基金為第五大股東。

中芯寧波專注于射頻前端、高壓模擬和光電集成特種工藝半導(dǎo)體領(lǐng)域，核心技術(shù)和管理團(tuán)隊(duì)以曾在中芯國(guó)際從事特種工藝研發(fā)和生產(chǎn)的專業(yè)成員為基礎(chǔ)，并吸收了來自英特爾、臺(tái)積電、瑞薩和應(yīng)用材料等國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀半導(dǎo)體企業(yè)的資深管理和技術(shù)專家。目前，公司員工總數(shù)約800人，其中研發(fā)人員占比約30%，人均經(jīng)驗(yàn)超過15年，工程技術(shù)人員占比超過85%。

中芯寧波規(guī)劃建設(shè)和運(yùn)營(yíng)兩條具有業(yè)界先進(jìn)技術(shù)水平的特種工藝集成電路晶圓制造產(chǎn)線，其中位于小港裝備產(chǎn)業(yè)園的８英寸N1產(chǎn)線已于2018年11月投產(chǎn)，位于柴橋芯港小鎮(zhèn)的N2項(xiàng)目于2020年6月開工建設(shè)，2021年6月如期完成首部機(jī)臺(tái)搬入。

成立以來，中芯寧波在CEO黃河博士的領(lǐng)導(dǎo)下，不忘初心、牢記使命、低調(diào)務(wù)實(shí)、奮斗為本，不以國(guó)外任何現(xiàn)成技術(shù)為參考，堅(jiān)定地走基礎(chǔ)性、原理性的自主創(chuàng)新之路，承擔(dān)科技部和工信部牽頭的“03專項(xiàng)”和“工業(yè)強(qiáng)基”等國(guó)家重大專項(xiàng)技術(shù)攻關(guān)，并構(gòu)建了完整的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。公司研發(fā)投入逐年遞增，2017年至2020年分別為4000萬元、7200萬元、1.5億元、1.9億元，2021年預(yù)計(jì)達(dá)到3.7億元。截至2021年10月，中芯寧波的國(guó)內(nèi)國(guó)外專利申請(qǐng)總量超過700件，研發(fā)團(tuán)隊(duì)人均專利申請(qǐng)量在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域排名第一。2021年5月，公司入選浙江省創(chuàng)造力百?gòu)?qiáng)，成為寧波唯一一家獲此殊榮的半導(dǎo)體公司。

中芯寧波以客戶需求為導(dǎo)向，采用專業(yè)化特種工藝晶圓制造代工（Foundry）與應(yīng)用定制化產(chǎn)品設(shè)計(jì)服務(wù)支持相結(jié)合的商業(yè)和運(yùn)營(yíng)模式，目標(biāo)市場(chǎng)涵蓋5G通信與移動(dòng)終端、智能家電與工業(yè)控制、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)與醫(yī)療電子等多個(gè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，致力于在專注領(lǐng)域發(fā)展成為中國(guó)最大、具有國(guó)際先進(jìn)水平的特種工藝半導(dǎo)體晶圓代工制造商。